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Epson采用的印刷蚀刻工艺

时间:2014年05月20日  整理:Epson晶振

    原来的机械加工首先将石英切成片后对每片进行倒角。因此,每片石英芯片的形状均不相同。与此相对,光刻加工是以晶圆为单位进行精微加工。所以,形状不均可以控制到较小。形状不均将引起石英晶体元器件的特性不均。

 

    使用光刻加工技术,可以使石英晶体芯片的形状保持均一。与机械加工(左)相比,即使是超小型石英晶体单元,也可以实现不均度少的优越的温度特性(右)。

2.0×1.6 mm规格的AT型晶体(26 MHz)的频率温度特性

 

AT型晶体、振荡器的小型化可以为便携式仪器的小型化、多功能化赋予贡献。